Werth TGV measurement concept

ยี่ห้อ : Werth

การวัดไมโครโบร์ (micro-bores) กว่า 1 ล้านจุดภายในเวลาเพียงไม่กี่นาที

ความเร็วในการวัดที่ไม่เคยมีมาก่อนเป็นไปได้ด้วยโหมด Raster Scanning HD สำหรับการวัดรูทะลุกระจก (Through Glass Vias – TGV) โดยแนวคิดการวัดแบบมัลติเซนเซอร์ของ Werth ช่วยให้สามารถจับลักษณะทางเรขาคณิตต่าง ๆ ได้อย่างครบถ้วน

ระบบมัลติเซนเซอร์ของ Werth เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวัดชิ้นงานในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ชิ้นส่วนความแม่นยำ และออปติก ตัวอย่างหนึ่งคือการวัดแผ่นกระจกเจาะรู ซึ่งผลิตในขนาดแผงประมาณ 600 × 600 มม. โดยมีรูขนาดเล็กมากถึง 1 ล้านรู (TGV) ลวดลายแต่ละชุดจะถูกแยกออก เคลือบโลหะ และนำไปใช้ในเทคโนโลยีการบรรจุขั้นสูง เช่น การซ้อนวงจรในกระบวนการผลิตชิป

จำเป็นต้องวัดตำแหน่ง เส้นผ่านศูนย์กลาง (≤ 100 µm) รูปร่าง และทิศทางของรูทั้งหมดแบบ 100% รวมถึงความเรียบและความหนาของแผ่นกระจก ความท้าทายด้านเมโทรโลยีอยู่ที่ความละเอียดเชิงโครงสร้างที่ต้องใช้ในการจับเส้นผ่านศูนย์กลางและรูปร่างของรูจำนวนมาก ซึ่งต้องการความเร็วในการวัดสูงกว่าการประมวลผลภาพแบบทั่วไปอย่างมาก

เครื่อง Werth VideoCheck® HA ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการวัดชิ้นงานที่ต้องการความแม่นยำในระดับไมครอน โหมดการทำงาน Raster Scanning HD ที่จดสิทธิบัตรช่วยให้สามารถจับภาพพื้นที่ขนาดใหญ่ที่มีองค์ประกอบเรขาคณิตขนาดเล็กได้โดยอัตโนมัติด้วยความแม่นยำสูง และตอบโจทย์ทั้งด้านความละเอียดและความเร็วในการวัดได้อย่างโดดเด่น ผลลัพธ์คือภาพรวมที่มีความละเอียดสูงถึง 20,000 เมกะพิกเซล สามารถวัดและประเมินตำแหน่ง เส้นผ่านศูนย์กลาง และรูปร่างของรูได้ถึง 1 ล้านรูภายในเวลาไม่ถึง 15 นาที ซึ่งเร็วกว่าวิธีการวัดแบบเดิมหลายเท่า

Werth ยังมีตัวเลือกเซนเซอร์หลากหลายที่สุดในโลก รองรับการวัดแบบครบวงจรด้วยความเร็วที่เหนือชั้น โพรบ Werth Fiber Probe® ที่จดสิทธิบัตร เหมาะสำหรับการวัดความคลาดเคลื่อนของรูปร่างในระดับความสูงต่าง ๆ ของรู โดยปลายโพรบทำจากแก้ว (เส้นผ่านศูนย์กลาง ≥ 20 µm) ซึ่งถือเป็นหนึ่งในโพรบที่ประสบความสำเร็จมากที่สุดในโลก

นอกจากนี้ยังมีเซนเซอร์ Chromatic Focus Point สำหรับการวัดความหนาและความเรียบของแผ่นกระจก (ความหนากระจก ≥ 200 µm) โดยระยะจะถูกกำหนดจากสีของแสงสะท้อน ซึ่งช่วยให้สามารถวัดพื้นผิวสะท้อนแสงและโปร่งใสได้ เช่น การวัดความหนาของสารเคลือบ